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超純水設(shè)備水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)布者：皓泉水處理發(fā)布日期：2017-09-26 瀏覽次

我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L

序號	水質(zhì)項目	一級高純水指標(biāo)	二級高純水指標(biāo)
1	電阻率（25℃）MΩ·cm	≥15	≥10
2	電導(dǎo)率，μs/cm	0.05	0.1
3	PH值	6.8～7.2	6.6～7.4
4	細(xì)菌總數(shù)，個/mL	＜3	＜9
5	微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）	＜150	＜300
6	二氧化硅	＜10	＜20
7	有機(jī)物（以COD計）	＜0.3	＜0.5
8	鈉 Na	＜0.5	＜2
9	鐵 Fe	＜1	＜2
10	銅 Cu	＜0.5	＜1
11	鈣 Ca	＜1	＜3
12	鎂 Mg	＜0.2	＜1
13	鋅 Zn	＜0.5	＜1
14	錳 Mn	＜0.2	＜0.5

說明：①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
②二級高純水適用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
③本表按1980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。

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